半導體晶圓後段製程烘烤自動化設備

與香港晶微科技,在大陸蘇州與設備商合作,由我們設計開發100%完全由PC base控制的自動化軟體.控制包含烘烤用的精密溫度控制器伺服與步進馬達,還有汽缸,Sensor與IO軸卡等硬體通訊交握方式,達到單機自動化生產需求的設備.